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 DMG MORI Technology Excellence/Semiconductor

Eccellenza nei semiconduttori DMG MORI

DMG MORI supporta i settori che hanno esigenze particolari per le loro macchine di produzione offrendo loro soluzioni tecnologiche su misura. DMG MORI progetta e realizza soluzioni di processo all’avanguardia per la lavorazione dei componenti dai requisiti più esigenti, realizzati in vetro tecnico e ceramica tecnica per l’industria dei semiconduttori e dei chip. L’offerta spazia dall’ottimizzazione dei processi di lavorazione esistenti alla pianificazione di progetti completi chiavi in mano.

La tecnologia ULTRASONIC è il metodo di lavorazione ottimale per componenti di alta precisione nell’industria dei semiconduttori realizzati con materiali rigidi e friabili.

André Pisch, Process Engineering CNC, Berliner Glas KGaA Herbert Kubatz GmbH & Co.

I semiconduttori in sintesi:

 Semiconductor
  • Oltre 30 anni di esperienza nella lavorazione di materiali rigidi e friabili
  • ULTRASONIC di 3a generazione:
    • Forze di processo ridotte fino al 50%, per ottenere il massimo della produttività, della qualità delle superfici e della precisione, oltre a una maggiore durata dell’utensile
    • Riduzione fino al 40% del danno sub-superficiale (SSD)
    • Rilevamento e tracciamento automatico della frequenza e dell’ampiezza, per una stabilità di processo ottimale
    • ULTRASONIC microPERFORAZIONE a mandrino adattivo per una microperforazione fino a > 0,1 mm
    • La migliore qualità di superficie fino a Ra 0,1 µm grazie a ULTRASONIC, attuatori lineari costantemente accurati con sistemi di accelerazione e di misura fino a 2 g di MAGNESCALE
  • Esclusivi cicli tecnologici e opzioni software DMG MORI:
    • ULTRASONIC RETTIFICA assiale
    • ULTRASONIC microPERFORAZIONE​​​​​
    • VCS Complete, per una precisione volumetrica superiore fino al 30%
    • ATC, per una qualità della superficie ottimale
    • MPC 2.0
  • Portafoglio prodotti onnicomprensivo per tutti i pezzi da 10 a 6.000 mm e fino a 150 tonnellate, oltre a soluzioni di automazione standardizzate e personalizzate
Semiconductor Manufacturing: Insights Into the Precision Machining of Octagonal Housings
ULTRASONIC Machining of Advanced Materials for the Semiconductor Industry
DMG MORI Technology Excellence - Semiconductor (ULTRASONIC)
Semiconductor chamber housing complete machining

Applicazioni e macchine

Anello di vetro di quarzo
Mandrino per wafer
Showerhead

Anello di vetro di quarzo

Anello di vetro di quarzo

  • Macchina: ULTRASONIC 60 eVo
  • Dimensioni: Ø 355 mm x 10 mm
  • Materiale: Vetro di quarzo 

Mandrino per wafer

 Wafer Chuck

Mandrino per wafer

  • Macchina: ULTRASONIC 65
  • Dimensioni: Ø 300 mm x 6 mm
  • Materiale: Carburo di silicio (SiC)

Showerhead

 Showerhead

Showerhead

  • Macchina: ULTRASONIC 50
  • Dimensioni: Ø 300 mm x 2 mm
  • Materiale: Silicone

Automazione di successo nell’industria dei semiconduttori

Come motore dell’innovazione nel campo dell’automazione, DMG MORI dimostra la sua competenza in questo campo con soluzioni onnicomprensive di fabbrica e da un unico fornitore. Un gran numero di macchine ULTRASONIC con soluzioni di automazione sono state installate anche nell’industria dei semiconduttori: dalla movimentazione dei pallet basata su PH 150 alle soluzioni in cui il pezzo viene alimentato direttamente al centro di lavoro ULTRASONIC. Oltre a soluzioni standard già consolidate, offriamo ai nostri clienti soluzioni su misura per il relativo campo di applicazione.

Da diversi decenni ormai il progresso tecnologico domina la nostra vita quotidiana, e a una velocità crescente. La digitalizzazione e il collegamento in rete svolgono un ruolo sempre più importante in un numero crescente di settori della vita quotidiana.

Una base essenziale di questo rapido sviluppo sono i microchip sempre più potenti, che vengono prodotti nell’industria dei semiconduttori con processi di esposizione innovativi. L’industria dei semiconduttori necessita di componenti di alta precisione in vetro tecnico e ceramica tecnica per questi metodi litografici / sistemi di litografia. La lavorazione dei cosiddetti “materiali avanzati”, come il vetro di quarzo o il carburo di silicio, è una delle discipline dai requisiti più esigenti nella lavorazione CNC. Le applicazioni tipiche in questo contesto sono i mandrini per wafer in SiC e gli anelli in vetro di quarzo, ma anche componenti di telai e altri gruppi, realizzati con la massima precisione. DMG MORI si è specializzata in questa disciplina sin dal 2001 con i centri di lavoro della serie ULTRASONIC, contribuendo così in modo significativo all’ottimizzazione dei processi nell’industria dei semiconduttori e dei chip.

Con l’obiettivo di rendere disponibile la lavorazione a ultrasuoni di materiali avanzati nel maggior numero possibile di settori di applicazione e per pezzi di piccole e grandi dimensioni, DMG MORI ha integrato la tecnologia ULTRASONIC nei centri di lavoro monoBLOCK DMU, nella serie DMU eVo e nei modelli a portale di grandi dimensioni e nelle macchine a portale. Con il ciclo tecnologico ULTRASONIC microPERFORAZIONE, è disponibile un mandrino adattivo per microperforazioni fino a > 0,1 mm. Può essere integrato in qualsiasi macchina ULTRASONIC tramite un’interfaccia HSK-63. ULTRASONIC RETTIFICA assiale è disponibile per tutte le macchine dotate di funzione di fresatura-tornitura. Con questo ciclo tecnologico, le impegnative operazioni di rettifica cilindrica esterna ed interna ULTRASONIC di componenti a rotazione simmetrica possono essere eseguite in modo efficiente e affidabile.